价格信息¥1.00/台
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别名 | NITTO 日东电工研磨减薄贴膜保护设备DR3000III BG Tape Applicator |
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材质 | 不锈钢 |
产地 | 日本 |
电源电压 | 220V |
工作电压 | 220(V) |
规格 | 可用晶圆尺寸:300 mm200 mm |
用途 | 研磨贴膜设备 |
品牌 | NITTO 日东电工 |
型号 | DR3000III |
加工定制 | 是 |
所属产业 | 半导体电子制造 |
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该设备可将保护胶带粘贴在晶圆图案表面上,用于背面研磨处理
??具有前开式晶圆盒/开放式晶圆匣
??低拉力粘贴/粘贴应力控制
??可通过触摸面板和配方功能实现简易操作
??日志文件功能标准设备
??具有胶带下垂检测功能
??符合?CE?标志和?SEMI?S2/S8规范要求
??可添设晶圆映射扫描仪
??符合?SECS/GEM?标准
??可用晶圆尺寸:300?mm/200?mm
??可用晶圆厚度:400?um?或更厚
??吞吐量:68晶圆/小时?
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