美国MTI DTS-050-10 位移传感器

型号

DTS-025-02

DTS-025-04

DTS-050-10

DTS-050-20

测量范围

mm

2

4

10

20

线性中点

mm

25

25

50

50

测量位移

扩展量程近端

mm

23.75

22.5

43.75

37.5

量程近端

mm

24

23

45

40

线性中点

mm

25

25

50

50

量程远端

mm

26

27

55

60

扩展量程远端

mm

26.25

27.5

56.25

62.5

线性度 (量程内)

1倍曝光时间

%FSO

0.0375%

2倍曝光时间

%FSO

0.0300%

1倍曝光时间

μm

0.75

1.50

3.75

7.50

2倍曝光时间

μm

0.6

1.2

3

6

镜面型激光的反射角度

θ

45°

30°

噪声(2倍曝光时间, 500Hz)

白色被测物在线性中点的位置

μm RMS

0.125

0.25

1.25

2.5

光点大小

在线性中点最大直径

μm

30

30

25

25

最高分辨率

nm

38

76

191

381